Ciência e Tecnologia de Filmes Finos

2011

Materiais: Programa Listas: Exercícios Gases Materiais de Apoio: Smith Cap. 01 Motivação Aplicações Cinética dos Gases Evaporação Spin Coating Coeficientes deposição Reações-CVD Descargas Luminescentes

Notas de Aula/Slides: Introdução Motivação Cinética dos Gases Tecnologia de Vácuo 1 Tecnologia de Vácuo 2 Evaporação Térmica Deposição de Filmes - 1 Deposição de Filmes - 2 Crescimento Epitaxial MBE Deposição de Vapor Químico - CVD